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J-GLOBAL ID：200903028395704220

圧電アクチュエータ、インクジェット式記録ヘッド、プリンタ、圧電アクチュエータの製造方法およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法

Inventor： 奥山 雅則 ,  魏 志強 ,  邱 宏 ,  角 浩二 ,  西脇 学
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 稲葉 良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998228204
Publication number (International publication number)：2000052559
Application date： Aug. 12, 1998
Publication date： Feb. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】 大面積化が可能で上部表面が平坦な圧電アクチュエータの製造方法の提供。【解決手段】 下部電極および上部電極に挟持された圧電体薄膜を備える圧電アクチュエータにおいて、圧電アクチュエータを構成する圧電性セラミックスからなる柱状結晶粒は、膜厚方向にランダムな配向を有し、かつ、その柱状結晶粒の平均粒径が100nm乃至15000nmの範囲にあることを特徴とする圧電アクチュエータである。

Claim (excerpt)：

下部電極および上部電極に挟持された圧電体薄膜を備える圧電アクチュエータにおいて、前記圧電アクチュエータを構成する圧電性セラミックスからなる柱状結晶粒は、膜厚方向にランダムな配向を有し、かつ、その柱状結晶粒の平均粒径が100nm乃至15000nmの範囲にあることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (6)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (5)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z

F-Term (10)：

2C057AF52 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP32 ,  2C057AP34 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 圧電体薄膜素子の製造方法、この圧電体薄膜素子を用いたインクジェット式記録ヘッド、並びにこの記録ヘッドを用いたインクジェット式プリンタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-282897   Applicant：セイコーエプソン株式会社