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J-GLOBAL ID：200903028433261990

振動型角速度センサ

Inventor： 田井 富茂
Applicant, Patent owner： 日本航空電子工業株式会社
Agent (1)： 草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996142937
Publication number (International publication number)：1997325031
Application date： Jun. 05, 1996
Publication date： Dec. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 検出感度及び検出感度の安定性を向上させる。【解決手段】 基板11上に配設された振動体12を基板11と平行方向に振動させ、角速度入力によって発生する振動体12の、基板11と垂直方向の変位を検出して入力角速度を検知する振動型角速度センサにおいて、振動体12を上記垂直方向に変位させることができる復元手段を設ける。復元手段は振動体12と復元用電極31とで構成され、それら間の静電気力を用いる。加速度入力による振動体12の変位を静電気力により防止する。

Claim (excerpt)：

基板上に、その基板と対向して配設された振動体を上記基板と平行方向に振動させ、角速度入力によって発生するコリオリ力による上記振動体の、上記基板と垂直方向の変位を検出して入力角速度を検知する振動型角速度センサにおいて、上記振動体を上記垂直方向に変位させることができる復元手段を設けたことを特徴とする振動型角速度センサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 慣性力センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-231301   Applicant：株式会社豊田中央研究所
• 慣性レートセンサー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-026017   Applicant：ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド