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J-GLOBAL ID：200903028511141653

レジスト剥離剤

Inventor：
千葉 一美

About 千葉 一美


Applicant, Patent owner：
日本カーリット株式会社

About 日本カーリット株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003052819
Publication number (International publication number)：2004264401
Application date： Feb. 28, 2003
Publication date： Sep. 24, 2004
Summary：
【課題】レジスト剥離能が高くかつ銅配線への腐食性がないレジスト剥離剤を提供。【解決手段】アルコール類、グリコール類、エーテル類、スルホキシド類、アミド類の水溶性有機溶媒あるいは該水溶性有機溶媒及び水からなる溶媒に、一般式〔1〕及び/または一般式〔2〕で表される脂環式アンモニウムヒドロキシドを溶解させたレジスト剥離剤である。(式中、Xは、炭素数1〜4のアルキル基を、kは、0または1〜4の正整数を、nは、3〜7の正整数を、R1、R2は、炭素数1〜8のアルキル基を表す。)(式中、X及びYは、炭素数1〜4のアルキル基を、k及びiは、0または1〜4の正整数を、n及びmは、3〜7の正整数を表す。)【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
一般式〔1〕及び/または一般式〔2〕で表される脂環式アンモニウムヒドロキシドが含有されてなることを特徴とするレジスト剥離剤。
IPC (3)：
G03F7/42 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304
FI (3)：
G03F7/42 ,  H01L21/304 647A ,  H01L21/30 572B
F-Term (3)：
2H096AA25 ,  2H096LA03 ,  5F046MA02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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