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J-GLOBAL ID：200903028628356421
走査型力顕微鏡用薄膜式力検出プローブ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
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Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993120988
Publication number (International publication number)：1994323845
Application date： Apr. 23, 1993
Publication date： Nov. 25, 1994
Summary：
【要約】【目的】 片持ち梁先端に働く試料表面からの力をその先端変位を測定する変位計を用いることなく、上記変位を直接信号に変換することが可能である、片持ち梁上に電極に挟まれた機能性薄膜を形成した構造を有する微小力センサーを用いることにより、走査型力顕微鏡における試料表面の力の検出装置を簡素化できるようにする。【構成】 先端にチップ1aを有する第1の薄膜としての薄膜弾性体1と、同薄膜弾性体1に電極2a,第2の薄膜2b,電極2cの順に装着された少なくとも3層の層構造2と、同層構造2の電極間の電気容量を電圧信号に変換して検出する容量検出器3とをそなえ、上記第2の薄膜が同薄膜が受ける曲げ応力に応じて上記電極間の電気容量を変える薄膜として形成されている。これにより、走査型力顕微鏡の力検出装置が簡素化し、特殊環境用の走査型力顕微鏡の構成が容易となる。
Claim (excerpt)：
走査型力顕微鏡の力検出系として取り付けて試料表面の力に関する情報を得るべく、先端にチップを有する第1の薄膜による薄膜弾性体と、同薄膜弾性体に電極,第2の薄膜,電極の順に装着された少なくとも3層の層構造と、上記層構造の電極間の電気容量を電圧信号に変換して検出する容量検出器とをそなえ、上記第2の薄膜が同薄膜が受ける曲げ応力に応じて上記電極間の電気容量を変える薄膜として形成されたことを特徴とする、走査型力顕微鏡用薄膜式力検出プローブ。
IPC (2)：
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