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J-GLOBAL ID：200903028657369176
イオンビーム発生装置、イオンビーム発生方法および機能素子の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
山本 秀策
, 安村 高明
, 大塩 竹志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004222566
Publication number (International publication number)：2006040821
Application date： Jul. 29, 2004
Publication date： Feb. 09, 2006
Summary：
【課題】 質量分離機に外乱が加わっても、イオンビームの調整を容易に行う。【解決手段】 放電により複数種のイオンを生成し、生成した複数種のイオンからなる第1イオンビームIaを出力させるイオン源1と、このイオン源1から出力された第1イオンビームの中から特定種類のイオンのみを分離抽出して第2イオンビームIbを出力させる質量分離機2と、質量分離機2内に中和用電子を供給する中和用フィラメント3と、イオン源1への放電電力を観測する放電電力観測機4と、質量分離機2から出力される第2イオンビームの電流値を観測するビーム電流観測機5と、放電電力観測機4の出力とビーム電流観測機5の出力との関係が所定の関係になるように、中和用フィラメント3から質量分離機2内に供給される電子量を出力調整する第1の制御手段6と、ビーム電流観測機5の出力が所定の値とするべく、イオン源1の放電電力を出力調整する第2の制御手段7とを有する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
放電により複数種のイオンを生成し、生成した該複数種のイオンからなる第1イオンビームを出力させるイオン源と、
該イオン源から出力された該第1のイオンビームの中から、一または複数の特定種類のイオンを分離抽出した第2イオンビームを出力させる質量分離機と、
該質量分離機内に中和用電子を供給する中和用フィラメントと、
該イオン源の放電電力を観測する放電電力観測手段と、
該質量分離機から出力される該第2イオンビームの電流を観測するビーム電流観測手段と、
該放電電力観測手段の出力と該ビーム電流観測手段の出力との関係が所定の関係となるように、該中和用フィラメントの消費電力を制御する第1の制御手段とを有するイオンビーム発生装置。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (4)：
5C034CC01
, 5C034CC17
, 5C034CD01
, 5C034CD02
Cited by applicant (1)
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イオンビーム装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-340297
Applicant：株式会社日立製作所
Cited by examiner (3)
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