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J-GLOBAL ID：200903028712126563

半導体装置及びその作製方法

Inventor：
藤川 最史

About 藤川 最史

, 
桑原 秀明

About 桑原 秀明


Applicant, Patent owner：
株式会社半導体エネルギー研究所

About 株式会社半導体エネルギー研究所


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000400280
Publication number (International publication number)：2002202734
Application date： Dec. 28, 2000
Publication date： Jul. 19, 2002
Summary：
【要約】【課題】 画面サイズを大画面化する際、配線の長さが増加することで配線抵抗が増加する問題が発生し、消費電力の増大を引き起こす。【解決手段】 ソース配線802及び端子部808、809を取り付けたメッキ処理用電極805を基板上に形成する。このメッキ処理用電極805を用いてメッキ処理することでソース配線802及び端子部808、809にCuメッキが施される。これにより、画面サイズの大画面化による配線抵抗の増加が抑えられ、消費電力を減少することができる。
Claim (excerpt)：
絶縁表面上に形成されたソース配線と、前記ソース配線表面に形成された金属被膜を有し、前記絶縁膜上に形成されたゲート電極と、前記ゲート電極及び前記金属被膜上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された第1の非晶質半導体膜と、前記第1の非晶質半導体膜上に形成されたn型を付与する不純物元素を含んだ第2の非晶質半導体膜と、前記第2の非晶質半導体膜上に形成された第1の層間絶縁膜と、前記第1の層間絶縁膜上に形成された第2の層間絶縁膜と、ソース配線及び画素部のTFTを電気的に接続する金属配線と、画素部のTFT及び保持容量を電気的に接続する透明電極からなる画素電極と、メッキ処理された端子部とを有することを特徴とする半導体装置。
IPC (6)：
G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 330 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336
FI (6)：
G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 330 Z ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/88 R ,  H01L 29/78 612 C ,  H01L 29/78 612 D
F-Term (112)：
2H092HA04 ,  2H092HA05 ,  2H092HA06 ,  2H092JA24 ,  2H092JA26 ,  2H092JA46 ,  2H092JB64 ,  2H092KA05 ,  2H092KA12 ,  2H092KB25 ,  2H092MA08 ,  2H092MA14 ,  2H092MA17 ,  2H092MA34 ,  2H092NA26 ,  2H092NA28 ,  2H092PA01 ,  2H092RA05 ,  2H092RA10 ,  5C094AA22 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA14 ,  5C094DA15 ,  5C094DB01 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094HA05 ,  5C094HA08 ,  5C094HA10 ,  5F033HH07 ,  5F033HH09 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ09 ,  5F033JJ18 ,  5F033KK11 ,  5F033KK13 ,  5F033KK14 ,  5F033KK18 ,  5F033KK19 ,  5F033KK20 ,  5F033KK21 ,  5F033MM05 ,  5F033MM19 ,  5F033PP27 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR03 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR07 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033UU03 ,  5F033VV15 ,  5F033XX10 ,  5F110AA03 ,  5F110AA09 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110CC08 ,  5F110DD01 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110EE28 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG25 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110HJ04 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK25 ,  5F110HK33 ,  5F110HK35 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL07 ,  5F110HM15 ,  5F110HM19 ,  5F110NN03 ,  5F110NN14 ,  5F110NN27 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ01 ,  5F110QQ08 ,  5F110QQ12
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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