電子顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000326571
Publication number (International publication number)：2002134054
Application date： Oct. 26, 2000
Publication date： May. 10, 2002
Summary：

【要約】【課題】広視野TVカメラの出力信号に代わって高分解能TVカメラの出力信号をモニターへ切替えて供給しても、その切替えの前後において、モニター画面上の試料拡大像倍率がほぼ同じになるような電子顕微鏡を提供すること。【解決手段】外部制御装置20は、前記外部制御ボード21から、モニター画面上の試料拡大像倍率を、広視野TVカメラ使用時の最大倍率M1よりも更に上げる指示信号を受けると、切替えスイッチ18を高分解能TVカメラ14側に切替える。また、外部制御装置20は、切替えスイッチ18の高分解能TVカメラ14側への切替えの前後において、モニター画面上の試料拡大像倍率がほぼ同じになるように、レンズ電源制御部22を制御する。この結果、モニター画面上の試料拡大像倍率は前記M1から、M1とほぼ同じ倍率であるM2に上がる。

Claim (excerpt)：

電子線照射によって試料を透過した電子線を拡大結像させる拡大レンズ系と、その拡大レンズ系によって拡大結像された試料の透過電子像を撮像する第1のTVカメラと、前記拡大レンズ系によって拡大結像された試料の透過電子像であって、前記第1のTVカメラによって撮像される透過電子像の一部に相当する像を撮像する第2のTVカメラと、前記第1のTVカメラの出力信号と前記第2のTVカメラの出力信号の何れか一方を選択して表示手段に供給する切替手段を備え、その切替手段において前記第1のTVカメラの出力信号が選択されたときには、第1のTVカメラで撮像された透過電子像が前記表示手段画面上に表示され、一方、前記切替手段において前記第2のTVカメラの出力信号が選択されたときには、第2のTVカメラで撮像された透過電子像が前記表示手段画面上に表示される電子顕微鏡において、前記第1のTVカメラの出力信号に代わって前記第2のTVカメラの出力信号が前記切替手段において選択されたとき、その切替えの前後において前記表示手段画面上の試料拡大像倍率がほぼ同じになるように、前記拡大レンズ系を制御して電子顕微鏡の倍率を制御する制御手段を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/22 501 , H01J 37/22 , H01J 37/26

FI (3)：

H01J 37/22 501 H , H01J 37/22 501 C , H01J 37/26

F-Term (2)：

5C033SS03 , 5C033SS04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開昭63-225467
透過型電子顕微鏡の撮影装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-107443 Applicant：日本電子株式会社

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