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J-GLOBAL ID：200903028871390220

静電チャック

Inventor： 阿多利 仁 ,  口町 和一
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993075672
Publication number (International publication number)：1994291175
Application date： Apr. 01, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：

【要約】【構成】単結晶サファイア製板状体1に内部電極2を備え、該板状体1の表面に物体を吸着するための吸着面1aを形成して静電チャックを構成した。【効果】漏れ電流が極めて小さく、機械的強度に優れ、高い吸着力を得られ、シリコンウェハなどの被吸着物6を汚染しにくい。

Claim (excerpt)：

静電作用による吸着面が単結晶サファイアの板状体から成る静電チャック。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 板状物保持手段およびそれを用いた装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-199617   Applicant：株式会社日立製作所
• トランシーバ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-219290   Applicant：株式会社カンセイ