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J-GLOBAL ID：200903029033291438

走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
伊藤 武史

About 伊藤 武史


Applicant, Patent owner：
株式会社島津製作所

About 株式会社島津製作所


Agent (1)： 竹本 松司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999144886
Publication number (International publication number)：2000338028
Application date： May. 25, 1999
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：
【要約】【課題】 Z方向のフィードバック制御の応答速度を高め、また、XY方向の走査に伴うレーザー光の照射位置の変動を防止する。【解決手段】 試料Sと対向配置するプローブ3と、Z方向に駆動するZ方向スキャナー5と、XY方向に走査するXY方向スキャナー4と、プローブの変位を検出する測定ヘッド3とを備え、プローブ3をZ方向スキャナー5に取り付け、測定ヘッド2が備えるレーザー発光部21をZ方向スキャナー5とXY方向スキャナー4との間に配置する構成とし、プローブ3のみをZ方向に駆動することによってZ方向のフィードバック制御の応答速度を高め、また、プローブ3上のレーザー光の照射位置をXY方向の走査と無関係とすることによって誤検出を防止する。
Claim (excerpt)：
試料と対向配置するプローブと、Z方向に駆動するZ方向スキャナーと、XY方向に走査するXY方向スキャナーと、プローブの変位を検出する測定ヘッドとを備える走査型プローブ顕微鏡であって、前記プローブをZ方向スキャナーに取り付け、測定ヘッドが備えるレーザー発光部をZ方向スキャナーとXY方向スキャナーとの間に配置し、Z方向スキャナーはプローブのみをZ方向にフィードバック制御し、XY方向スキャナーはレーザー発光部とZ方向スキャナーを一体としてXY方向に走査する、走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4)：
G01N 13/16 ,  G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30
FI (4)：
G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 A ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z
F-Term (27)：
2F063AA04 ,  2F063AA43 ,  2F063CA12 ,  2F063DA01 ,  2F063DA04 ,  2F063DB01 ,  2F063DB06 ,  2F063EA16 ,  2F063EA20 ,  2F063EB15 ,  2F063EB23 ,  2F063FA07 ,  2F063ZA01 ,  2F069AA04 ,  2F069AA06 ,  2F069AA60 ,  2F069DD15 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069JJ08 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM32
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 走査型プローブ顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-073923   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
  • 微動機構
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-027522   Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社

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