Pat
J-GLOBAL ID：200903029079793993
エアロゾル吐出ノズルおよび被膜形成装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
和気 操
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006207475
Publication number (International publication number)：2008029977
Application date： Jul. 31, 2006
Publication date： Feb. 14, 2008
Summary：
【課題】基材との設置間隔が狭い場合でも使用でき、長時間にわたり安定して緻密で均一な被膜を形成可能なエアロゾル吐出ノズル、および該ノズルを用いた被膜形成装置を提供する。【解決手段】微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材の成膜部に向けて吐出するための矩形形状の吐出開口部1aを有するエアロゾル吐出ノズル1であって、該エアロゾル吐出ノズル1は、吐出開口部1a長辺の両端部に、該ノズル内において吐出開口部長辺の両端側1bを通過する微粒子を成膜部に向かない方向に変向して吐出させる逃がし穴1cを有する。本発明の被膜形成装置は、このエアロゾル吐出ノズル1を備えてなる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材の成膜部に向けて吐出するための矩形形状の吐出開口部を有するエアロゾル吐出ノズルであって、
該エアロゾル吐出ノズルは、前記吐出開口部長辺の両端部に、該ノズル内において前記吐出開口部長辺の両端側を通過する前記微粒子を前記成膜部に向かない方向に変向して吐出させる逃がし穴を有することを特徴とするエアロゾル吐出ノズル。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (9)：
4F033RA02
, 4F033RA04
, 4F033RA14
, 4F033RE17
, 4K044BA13
, 4K044CA23
, 4K044CA29
, 4K044CA51
, 4K044CA71
