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J-GLOBAL ID：200903029123531462

メソポーラス金属膜の製造方法

Inventor： 黒田 一幸 ,  逢坂 哲彌 ,  門間 聰之 ,  山内 悠輔
Applicant, Patent owner： 学校法人早稲田大学
Agent (3)： 牛木 護 ,  清水 栄松 ,  外山 邦昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005049425
Publication number (International publication number)：2006233272
Application date： Feb. 24, 2005
Publication date： Sep. 07, 2006
Summary：

【課題】 本発明の目的は、微細な溝や孔などのパターンの部位にメソポーラス金属膜を、制御された状態で、定常的に、均一に形成する方法を提供することである。【課題を解決する手段】 リオトロピック液晶を形成する界面活性剤に、純水に溶解した金属イオン源を加えた溶液を作成し、その溶液を水溶性の揮発性有機溶媒で希釈し、その希釈した溶液を基板に塗布して、前記溶媒を揮発させ、リオトロピック液晶を形成させ、形成されたリオトロピック液晶の周囲に存在下において金属を析出させてから、前記リオトロピック液晶を除去することを特徴とするメソポーラス金属膜の製造方法である。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

リオトロピック液晶を形成する界面活性剤に、純水に溶解した金属イオン源を加えた溶液を作り、その溶液を水溶性の揮発性有機溶媒で希釈し、その希釈した溶液を基板に塗布した後に、前記溶媒を揮発させ、リオトロピック液晶を形成させて、形成されたリオトロピック液晶の周囲に存在下で金属を析出させて、前記リオトロピック液晶を除去することを特徴とするメソポーラス金属膜の製造方法。

IPC (4)：

C25D 7/00 ,  B82B 3/00 ,  C25D 3/52 ,  C25D 5/00

FI (4)：

C25D7/00 Y ,  B82B3/00 ,  C25D3/52 ,  C25D5/00

F-Term (25)：

4K023AA12 ,  4K023AA13 ,  4K023AA19 ,  4K023AA24 ,  4K023AA25 ,  4K023AA26 ,  4K023AB44 ,  4K023BA06 ,  4K023BA08 ,  4K023CB05 ,  4K023CB19 ,  4K023CB33 ,  4K024AA03 ,  4K024AA09 ,  4K024AA10 ,  4K024AA11 ,  4K024AA12 ,  4K024AA24 ,  4K024AB01 ,  4K024AB19 ,  4K024BB09 ,  4K024BB27 ,  4K024CA02 ,  4K024DA10 ,  4K024GA16

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特開H10-226514号公報