ダイヤモンドの平坦化法および研磨法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994034632
Publication number (International publication number)：1995041388
Application date： Mar. 04, 1994
Publication date： Feb. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】その上に微細配線等を安定的に形成可能なダイヤモンド表面を短時間で形成することができる、ダイヤモンドの平坦化ないし研磨法を提供する。【構成】ダイヤモンドの表面に、該ダイヤモンドと異なる材料からなる平坦な被膜を形成した後、ドライエッチングにより、前記ダイヤモンドと被膜との双方をエッチングし得る条件下で、前記被膜およびダイヤモンド表面の凹凸を除去して、該ダイヤモンドの表面を平滑化する。

Claim (excerpt)：

乾式法によりダイヤモンド表面を平坦化させるに際し、該ダイヤモンド表面凸部の減削速度を、該ダイヤモンド表面の凹部の減削速度より相対的に大きくすることを特徴とするダイヤモンドの平坦化法。

IPC (2)：

C30B 29/04 , C30B 33/08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

特開平4-331800
特開昭64-062484
特開平3-165580

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Cited by examiner (9)

特開平4-331800
特開平4-331800
特開昭64-062484

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