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J-GLOBAL ID:200903029374579758

アモルファスカーボン膜被覆基材及びアモルファスカーボン膜の成膜方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 酒井 宏明
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005001813
Publication number (International publication number):2006188734
Application date: Jan. 06, 2005
Publication date: Jul. 20, 2006
Summary:
【課題】アモルファスカーボンと基材との密着力が向上すると共に、ガスバリヤ性を付与するアモルファスカーボン膜被覆基材及びアモルファスカーボン膜の成膜方法を提供する。【解決手段】本発明にかかるアモルファスカーボン膜被覆基材20は、基材21の表面に減圧下で放電プラズマによりアモルファスカーボン膜22を成膜してなるアモルファスカーボン膜被覆基材であって、前記基材21とアモルファスカーボン膜22との界面に、酸素、窒素のいずれか一方又は両方を有する活性処理層である活性処理層23を含むものである。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
基材表面に減圧下で放電プラズマによりアモルファスカーボン膜を成膜してなるアモルファスカーボン膜被覆基材であって、 前記基材とアモルファスカーボンとの界面に、酸素、窒素のいずれか一方又は両方を有する活性処理層を含むことを特徴とするアモルファスカーボン膜被覆基材。
IPC (2):
C23C 16/27 ,  B65D 25/14
FI (2):
C23C16/27 ,  B65D25/14 Z
F-Term (26):
3E062AA07 ,  3E062AA09 ,  3E062AB02 ,  3E062AB03 ,  3E062AC02 ,  3E062JA01 ,  3E062JA07 ,  3E062JB24 ,  3E062JD01 ,  4K030AA09 ,  4K030BA28 ,  4K030BB12 ,  4K030CA05 ,  4K030CA06 ,  4K030CA07 ,  4K030CA08 ,  4K030CA12 ,  4K030CA15 ,  4K030DA02 ,  4K030FA01 ,  4K030JA01 ,  4K030JA06 ,  4K030JA09 ,  4K030JA16 ,  4K030LA01 ,  4K030LA18
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (2)
  • バリア容器
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2001-184550   Applicant:凸版印刷株式会社
  • DLC膜コーティングプラスチック容器の製造方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2002-336026   Applicant:三菱商事プラスチック株式会社, 株式会社ユーテック, 三菱重工業株式会社

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