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J-GLOBAL ID：200903029634086831
研磨装置及び研磨方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994147390
Publication number (International publication number)：1996011049
Application date： Jun. 29, 1994
Publication date： Jan. 16, 1996
Summary：
【要約】【目的】本発明は、被加工物の研磨量を均一にすることができる研磨装置及び研磨方法を提供することを目的とする。【構成】被加工物を研磨する研磨定盤と、前記研磨定盤を回転駆動するモータと、前記研磨定盤の研磨作用面に一定間隔を隔てて固定され、研磨定盤の駆動軸と直交する方向に駆動可能な空気軸受けと、前記空気軸受けに支持された切込み台と、前記切込み台に支持された工具と、研磨布の表面に溝を形成する工具切込み台とを有する研磨装置。【効果】研磨機上で、研磨定盤及び研磨布の形状を修正し、研磨布と被加工物の間に適正量の研磨剤を供給するための溝を研磨機上で形成しているので、被加工物の研磨量を均一にすることができる。
Claim (excerpt)：
非加工物と、前記非加工物を研磨する研磨定盤と、前記研磨定盤を回転駆動する研磨定盤用モータと、前記非加工物を支持するチャックと、前記研磨定盤の研磨作用面に一定間隔を隔てて固定され、研磨定盤の駆動軸と直交する方向に移動可能な空気軸受けと、前記空気軸受けに支持された切込み台と、前記切込み台に支持された工具と、研磨定盤及び研磨布の表面に工具を切込む機構を有することを特徴とする研磨装置。
IPC (4)：
B24B 37/00
, B24B 57/02
, H01L 21/304 321
, H01L 21/304
Cited by examiner (5)
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