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J-GLOBAL ID：200903029642594510
圧電体素子およびインクジェット式記録ヘッド
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998040053
Publication number (International publication number)：1999238921
Application date： Feb. 23, 1998
Publication date： Aug. 31, 1999
Summary：
【要約】【課題】 優れた圧電特性を示す圧電体素子を結晶構造から明らかにする。【解決手段】 この圧電体素子は、ペロブスカイト結晶構造を持つ強誘電体を備えた圧電体層と当該圧電体層を挟んで配置される上電極および下電極とを備える。そして結晶が、圧電体層のペロブスカイト結晶構造は正方晶系であること、(001)面方位と(111)面方位とが混在していること、膜厚に対する(001)面方位の配向割合の比が膜厚に対する(111)面方位の配向割合の比より大きく設定されていること等の条件を満たしている。
Claim (excerpt)：
ペロブスカイト結晶構造を持つ強誘電体を備えた圧電体層と前記圧電体層を挟んで配置される上電極および下電極とを備えた圧電体素子において、前記圧電体層の前記ペロブスカイト結晶構造は正方晶系であって、(001)面方位と(111)面方位とが混在しており、全面方位に対する前記(111)面方位の割合が前記(001)面方位の割合より大きく設定されていることを特徴とする圧電体素子。
IPC (4)：
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/22
H01L 41/08 C
, B41J 3/04 103 A
, H01L 41/22 Z
Cited by examiner (10)
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