脂環式炭化水素系重合体の含有金属除去方法および感放射線性組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岩見谷周志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002153421
Publication number (International publication number)：2003342319
Application date： May. 28, 2002
Publication date： Dec. 03, 2003
Summary：

【要約】【課題】脂環式炭化水素系重合体類に含有されている不純物としての金属を除去し精製する方法、および精製された前記重合体を成分とするフォトレジストとして高性能の感放射線樹脂組成物を提供すること。【解決手段】1.酸を添加した脂環式炭化水素系重合体の有機溶媒溶液に、当該脂環式炭化水素系重合体の貧溶媒を混合して脂環式炭化水素系重合体を凝固させる工程と、凝固した脂環式炭化水素系重合体を非水溶性有機溶媒に溶解し、その溶液を酸性熱水溶液と接触させて含有金属を抽出する工程とを有することを特徴とする脂環式炭化水素系重合体の含有金属除去方法。2.前記含有金属除去方法により精製した脂環式炭化水素系重合体と感放射線性酸発生剤とを含有することを特徴とする感放射線性組成物。

Claim (excerpt)：

脂環式炭化水素系重合体の有機溶媒溶液に、当該脂環式炭化水素系重合体の貧溶媒および酸を混合して脂環式炭化水素系重合体を凝固させる工程と、凝固した脂環式炭化水素系重合体、非水溶性有機溶媒、酸および水を混合して含有金属を抽出する工程とを有することを特徴とする脂環式炭化水素系重合体の含有金属除去方法。

IPC (7)：

C08F 6/08 , C08F 32/04 , C08G 67/02 , G03F 7/039 601 , G03F 7/26 , G03F 7/38 501 , H01L 21/027

FI (7)：

C08F 6/08 , C08F 32/04 , C08G 67/02 , G03F 7/039 601 , G03F 7/26 , G03F 7/38 501 , H01L 21/30 502 R

F-Term (61)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA11 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025BJ10 , 2H025CB06 , 2H025CB08 , 2H025CB41 , 2H096AA25 , 2H096BA11 , 2H096BA20 , 2H096EA05 , 2H096LA30 , 4J005AB01 , 4J005BC00 , 4J100AG02Q , 4J100AG04Q , 4J100AJ01Q , 4J100AJ02Q , 4J100AJ08Q , 4J100AJ09Q , 4J100AL03Q , 4J100AL09Q , 4J100AL62Q , 4J100AM01Q , 4J100AM02Q , 4J100AM14Q , 4J100AM15Q , 4J100AM32Q , 4J100AM33Q , 4J100AM43Q , 4J100AM45Q , 4J100AQ06Q , 4J100AQ08Q , 4J100AQ12Q , 4J100AR03Q , 4J100AR04Q , 4J100AR11P , 4J100AR11Q , 4J100AR16Q , 4J100AR21Q , 4J100AR22Q , 4J100AR25Q , 4J100BA03P , 4J100BA04Q , 4J100BA15Q , 4J100BA20Q , 4J100BA22P , 4J100BB18P , 4J100CA01 , 4J100CA04 , 4J100FA08 , 4J100GA17 , 4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

金属含量の低減されたポリ(メタ)アクリレート類の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-286896 Applicant：住友化学工業株式会社
環状オレフィン系重合用触媒及びそれを用いた重合体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-330868 Applicant：三菱化学株式会社
一酸化炭素とオレフィン系不飽和化合物の重合体の製造に適する触媒組成物及び方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-139283 Applicant：シエル・インターナシヨナル・リサーチ・マートスハツペイ・ベー・ヴエー

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