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J-GLOBAL ID：200903029838489226

加速度センサ

Inventor：
多保田 純

About 多保田 純


Applicant, Patent owner：
株式会社村田製作所

About 株式会社村田製作所


Agent (1)： 岡田 和秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994022454
Publication number (International publication number)：1994324073
Application date： Feb. 21, 1994
Publication date： Nov. 25, 1994
Summary：
【要約】【目的】小型化及び検出感度の向上を実現できる加速度センサを提供する。【構成】信号電極4,6及び中間電極5が形成された圧電セラミック板2,3を備え、これら圧電セラミック板2,3の中間電極5同士を対面接合して一体化したバイモルフ型検出素子1の長手方向に沿う両端縁を固定した構造の加速度センサであって、圧電セラミック板2,3のそれぞれは長手方向に沿う少なくとも中央部分2a,3aが各々の板厚方向に沿いつつ互いに逆となる向きX,Yに従って分極処理されたものであり、一方の信号電極4は一方の圧電セラミック板2の中央部分2aから端部分2bの一方側にかけて形成され、また、他方の信号電極6は他方の圧電セラミック板3の中央部分3aから端部分3bの他方側にかけて形成されたものであり、さらにまた、中間電極5は各圧電セラミック板2,3の中央部分2a,3aにのみ形成されたものである。
Claim (excerpt)：
共に短冊形状とされたうえで主表面上に信号電極(4,6)及び中間電極(5)がそれぞれ形成された一対の圧電セラミック板(2,3)を備え、かつ、これら圧電セラミック板(2,3)の中間電極(5)同士を対面接合して一体化したバイモルフ型検出素子(1)の長手方向に沿う両端縁を固定支持してなる構造の加速度センサであって、圧電セラミック板(2,3)のそれぞれは、長手方向に沿う少なくとも中央部分(2a,3a)が各々の板厚方向に沿いつつ互いに逆となる向き(X,Y)に従って分極処理されたものであり、一方の信号電極(4)は一方の圧電セラミック板(2)の中央部分(2a)から端部分(2b)の一方側にかけて形成され、また、他方の信号電極(6)は他方の圧電セラミック板(3)の中央部分(3a)から端部分(3b)の他方側にかけて形成されたものであり、さらにまた、中間電極(5)は各圧電セラミック板(2,3)の中央部分(2a,3a)にのみ形成されたものであることを特徴とする加速度センサ。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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