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J-GLOBAL ID：200903029957081650

計測装置

Inventor： 星山 浩樹
Applicant, Patent owner： ジャパン・イー・エム株式会社
Agent (1)： 平田 忠雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996327143
Publication number (International publication number)：1998170225
Application date： Dec. 06, 1996
Publication date： Jun. 26, 1998
Summary：

【要約】【課題】 被計測物の2点を計測するためにXYテーブルを移動させると、XYテーブルの機械精度に依存しXYテーブルが変位するので、計測値に誤差が含まれる。【解決手段】 被計測物2を戴置するXYテーブル1とマーカ板4を固定しておき、読取装置3と被計測物2の誤差部2bとマーカ板4にそれぞれ焦点をあわせたときの読取装置3の変位量h’と、マーカ板4の位置情報から段差部2bの3次元計測を行う。

Claim (excerpt)：

被計測物を戴置して1次元、あるいは2次元の運動を行うテーブルと、光透過性を有し、面上に光学的に確認できる測定単位のマーカを有し、前記テーブルと相対的変位を生じないように前記テーブルに固定されたマーカ板と、前記テーブルと相対的な運動を行い、前記被計測物と前記マーカ板を読み取る読取手段と、前記読取手段が前記被計測物と前記マーカ板を読み取るために変位した変位量に基づいて前記被計測物の計測値を演算する演算手段を備えたことを特徴とする計測装置。

IPC (2)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/24

FI (2)：

G01B 11/00 H ,  G01B 11/24 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 計測装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-136596   Applicant：ジャパン・イー・エム株式会社
• 透明基板の位置合わせ方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-121861   Applicant：カシオ計算機株式会社