電鋳装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：羽鳥修 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995139484
Publication number (International publication number)：1996333695
Application date： Jun. 06, 1995
Publication date： Dec. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】基板交換時の繁雑なメンテナンス作業を不要とし、安定して基板にメッキ処理を施すことができる電鋳装置の提供。【構成】基板2を支承するカソード電極3と、該カソード電極3の下方に配設された本体4と、該本体4に対して上下動自在に配設された係合治具5と、該係合治具5を介して該本体4に装着されて上記カソード電極3とともに上記基板2の周縁部2aを挟持するクランパー6とを備えており、且つ上記本体4内に、一端部が上記係合治具に臨んで開口する給気管路40を設けてあり、上記給気管路41を通じて圧縮空気を供給し、上記係合治具5を下方に押圧して上記クランパー6を上記カソード電極3に対して下方に移動させ、上記基板2を挟持するようになしてなる。

Claim (excerpt)：

基板2を支承するカソード電極3と、該カソード電極3の下方に配設された本体4と、該本体4に対して上下動自在に配設された係合治具5と、該係合治具5を介して該本体4に装着されて上記カソード電極3とともに上記基板2の周縁部2aを挟持するクランパー6とを備えており、且つ上記本体4内に、一端部が上記係合治具に臨んで開口する給気管路40を設けてあり、上記給気管路41を通じて圧縮空気を供給し、上記係合治具5を下方に押圧して上記クランパー6を上記カソード電極3に対して下方に移動させ、上記基板2を挟持するようになしてあることを特徴とする電鋳装置。

IPC (3)：

C25D 1/00 , C25D 17/08 , G11B 7/26 511

FI (3)：

C25D 1/00 B , C25D 17/08 Q , G11B 7/26 511

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-183888
ウエハの電解装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-262260 Applicant：株式会社東設
特開昭62-272445

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