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J-GLOBAL ID：200903030099698200

成膜装置用部品およびその製造方法

Inventor：
岩垂 尚史

About 岩垂 尚史

, 
大石 幸司

About 大石 幸司


Applicant, Patent owner：
真空冶金株式会社

About 真空冶金株式会社


Agent (1)： 飯阪 泰雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999227751
Publication number (International publication number)：2001049419
Application date： Aug. 11, 1999
Publication date： Feb. 20, 2001
Summary：
【要約】【課題】 溶射膜の形成された成膜装置用部品において、成膜材料が付着し厚膜化しても剥離、脱落せず、従ってパーティクルを生じ難く、従って成膜装置のクリーニング間隔の長期間化を可能ならしめる成膜装置用部品およびその製造方法を提供すること。【解決手段】 成膜装置用部品であるシャッターのSUS304製の母材1に対して、格子の目が3mm角の正方形で6mmピッチの格子状マスク12を介し上方からAl溶射を施すことにより、底面から頂上までの高さHが約400μmの角錐台形状の凹凸を有する約0.6mm厚さのAl溶射膜を形成させた。得られたシャッターをTiNのスパッタ成膜装置に組み込んで使用したところ、付着し成長したTiN厚膜が厚さが1.3mmになった時点で剥離が発生した。この剥離膜厚は従来のフラットなAl溶射膜を形成させた場合と比較して2倍以上であり、クリーニング間隔を2倍以上に延ばし得る。
Claim (excerpt)：
成膜装置内で使用され、表面に溶射膜が形成されている成膜装置用部品において、前記溶射膜にそれ自体の表面粗さ(Ra)より大きい凹凸が多数に形成されていることを特徴とする成膜装置用部品。
IPC (4)：
C23C 4/00 ,  B01J 3/00 ,  C23C 14/00 ,  C23C 16/54
FI (4)：
C23C 4/00 ,  B01J 3/00 K ,  C23C 14/00 B ,  C23C 16/54
F-Term (13)：
4K029DA10 ,  4K029DA12 ,  4K029DC20 ,  4K030KA11 ,  4K030KA12 ,  4K030KA47 ,  4K031AA04 ,  4K031AA08 ,  4K031AB07 ,  4K031BA06 ,  4K031CB39 ,  4K031FA04 ,  4K031FA13
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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