試料台及びその試料台を備えた走査電子顕微鏡

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：作田康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000144573
Publication number (International publication number)：2001325911
Application date： May. 12, 2000
Publication date： Nov. 22, 2001
Summary：

【要約】【課題】液体に懸濁している微粒子を試料台に固定する段階において、微粒子を分散させる作用を有する試料台の提供を目的とする。【解決手段】走査電子顕微鏡の試料台において、懸濁液を滴下する位置の表面に凹凸形状を設けることにより、懸濁液をその上から滴下し乾燥,固定する手法を用いる。

Claim (excerpt)：

電子線を発生する電子銃と、電子線を収束し照射させる手段と、電子線を試料上に走査するための偏向手段と、試料台を配受するステージと、試料表面から発生した信号を検出する検出器を備える走査電子顕微鏡に設けられる試料台において、前記試料台は試料貼付位置に凹凸形状を有することを特徴とする試料台。

IPC (2)：

H01J 37/20 , G01N 23/225

FI (3)：

H01J 37/20 A , H01J 37/20 D , G01N 23/225

F-Term (16)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001GA06 , 2G001HA13 , 2G001MA04 , 2G001QA01 , 2G001QA10 , 2G001RA03 , 2G001RA10 , 2G001RA20 , 2G001SA12 , 2G001SA30 , 5C001AA01 , 5C001BB07 , 5C001CC04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

非導電性粉末試料の走査電子顕微鏡観察用試料前処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-252827 Applicant：川崎製鉄株式会社
特開平4-085562
特開昭55-036715

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