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J-GLOBAL ID：200903030221752173
冷陰極電子放出素子及びその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大胡 典夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999269105
Publication number (International publication number)：2001093403
Application date： Sep. 22, 1999
Publication date： Apr. 06, 2001
Summary：
【要約】【課題】 冷陰極電子放出素子の電子放出特性を向上させること、電子放出特性を安定させること、および電子放出特性均一にすること。【解決手段】 エミッタとしてのカーボンナノチューブ3を陰極表面に形成した冷陰極電子放出素子において、カーボンナノチューブ3の先端の開口端2aすなわち側面2bである(0002)面と垂直な面から電子を放出させることで、電子放出特性を向上させる。またカーボンナノチューブ3の表面にBN層5を形成することで、カーボンナノチューブの先端部から炭素が蒸発すること、あるいは先端部に不純物が付着することを防ぎ、電子放出特性を向上させる。また、カーボンナノチューブ3の束を解くことで、電子放出特性を均一にする。
Claim (excerpt)：
陰極および陽極からなる一対の電極と、前記陰極表面上に先端部が前記陽極に対向するように前記一対の電極間に配置された複数のカーボンナノチューブからなるエミッタを具備し、前記カーボンナノチューブの前記先端部は、前記カーボンナノチューブを形成するグラファイトの(0002)面に垂直な面を露出していることを特徴とする冷陰極電子放出素子。
IPC (4)：
H01J 1/304
, C01B 31/02 101
, C23C 16/26
, H01J 9/02
C01B 31/02 101 F
, C23C 16/26
, H01J 9/02 B
, H01J 1/30 F
4G046CA00
, 4G046CA02
, 4G046CB03
, 4G046CB08
, 4G046CC02
, 4G046CC05
, 4G046CC06
, 4K030AA09
, 4K030BA01
, 4K030BA27
, 4K030BA39
, 4K030BA53
, 4K030BB05
, 4K030BB14
, 4K030DA08
, 4K030FA01
