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J-GLOBAL ID：200903030261834059

基板上に載置された微小液滴の品質管理のための装置及び方法

Inventor： ベケシ、ステファン ,  グルーラー、ホルガー ,  ツェンゲルレ、ローラント
Applicant, Patent owner： ハーン-シッカート-ゲゼルシャフト フュア アンゲヴァンテ フォルシュンク エー ファウ
Agent (1)： 森下 武一
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001527921
Publication number (International publication number)：2003511653
Application date： Oct. 05, 2000
Publication date： Mar. 25, 2003
Summary：

【要約】基板(2)上に載置された微小液滴(4)の品質管理を行うための装置は、表面に載置された微小液滴(4)を有する基板(2)を照射するための光源(10)を含む。画像形成装置(12)が、光源(10)によって生成され、基板(2)を透過した又は基板で反射された光を受け、画像を形成するために備えられている。さらに、基板(2)に載置された微小液滴(4)によって生じる屈折効果の結果として画像に形成されるパターンに関して該画像を分析する手段が設けられている。

Claim (excerpt)：

基板(2,2’)上に載置された微小液滴(4)の品質管理を行う装置であり、以下のものを含む、 微小液滴(4)が載置されている基板(2,2’)を照射するための光源(10)、 光源(10)によって生成され基板(2)を透過した又は基板(2’)によって反射された光を受け、画像(20)を形成するための画像形成装置(12)、 形成された画像(20)を、基板(2,2’)上に載置された微小液滴(4)によって生じた屈折効果の結果として画像(20)に形成されたパターン(14,16)に関して、分析するための手段。

IPC (9)：

G01N 21/17 ,  B01J 19/00 ,  B01L 3/00 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/958 ,  G06T 1/00 300 ,  G01N 31/22 121 ,  G01N 33/53 ,  G01N 37/00 102

FI (9)：

G01N 21/17 A ,  B01J 19/00 Z ,  B01L 3/00 ,  G01N 21/84 Z ,  G01N 21/958 ,  G06T 1/00 300 ,  G01N 31/22 121 P ,  G01N 33/53 M ,  G01N 37/00 102

F-Term (41)：

2G042AA01 ,  2G042BD19 ,  2G042CB03 ,  2G042FB05 ,  2G042HA02 ,  2G051AA90 ,  2G051AB20 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB04 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE04 ,  2G059FF01 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059KK04 ,  4G057AB06 ,  4G057AB38 ,  4G075AA39 ,  4G075AA65 ,  4G075DA02 ,  4G075EB32 ,  4G075EB33 ,  4G075EB34 ,  4G075FC04 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DC09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 粒状スペーサ散布密度測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-210341   Applicant：アルプス電気株式会社
• 特開昭59-097290
  
• 特開昭60-158339