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J-GLOBAL ID：200903030326378676

電子ビームによる画像表示装置

Inventor：
小濱 禎晃

About 小濱 禎晃

, 
浜島 宗樹

About 浜島 宗樹


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997001180
Publication number (International publication number)：1998199463
Application date： Jan. 08, 1997
Publication date： Jul. 31, 1998
Summary：
【要約】【課題】 高速な画像表示を可能とし、操作性に優れた電子ビームによる画像表示装置を提供する。【解決手段】 電子ビーム照射手段3には電子ビームを偏向させて試料面を走査させる第1の偏向器2aが設けられ、電子検出光学系4には前記第1の偏向器の出力信号に同期させて試料画像ビームを画像表示手段12において所望の試料画像を表示するように偏向させる第2の偏向器21aを備えた構成とした。
Claim (excerpt)：
試料面上に電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と、前記電子ビームにより照射された試料面からの二次電子、反射電子及び後方散乱電子のうち少なくとも1つを試料画像ビームとして検出する電子検出器と、前記試料画像ビームを前記電子検出器上に試料画像として結像させる電子検出光学系と、前記電子検出器の出力信号に基づいて前記試料面の画像を表示する画像表示手段とを有する画像表示装置であって、前記電子ビーム照射手段には電子ビームを偏向させて試料面を走査させる第1の偏向器が設けられ、前記電子検出光学系には前記第1の偏向器の出力信号に同期させて試料画像ビームを前記画像表示手段において所望の試料画像を表示するように偏向させる第2の偏向器を備えたことを特徴とした画像表示装置。
IPC (2)：
H01J 37/22 502 ,  H01L 21/027
FI (2)：
H01J 37/22 502 A ,  H01L 21/30 541 E
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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