オートフォーカス方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：秋元輝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994259446
Publication number (International publication number)：1996097271
Application date： Sep. 29, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】ダイサーでオートフォーカスする場合に、光学手段による画像処理回数を減らしてオートフォーカスに要する作業時間を著しく短縮出来るようにした、オートフォーカス方法を提供する。【構成】規格化された半導体ウェーハの厚さ情報をCPUに登録する工程と、ダイサー等の保持手段に保持されたウェーハを光学手段の直下に位置付けする工程と、前記ウェーハの厚さ情報に基づいて厚さバラツキの誤差範囲に達する位置まで光学手段の焦点を一気に移動する工程と、この誤差範囲内で精密にオートフォーカスを遂行する工程と、から構成される。

Claim (excerpt)：

規格化された半導体ウェーハの厚さ情報をCPUに登録する工程と、ダイサー等の保持手段に保持されたウェーハを光学手段の直下に位置付けする工程と、前記ウェーハの厚さ情報に基づいて厚さバラツキの誤差範囲に達する位置まで光学手段の焦点を一気に移動する工程と、この誤差範囲内で精密にオートフォーカスを遂行する工程と、から構成されるオートフォーカス方法。

IPC (4)：

H01L 21/68 , G01C 3/06 , G02B 7/28 , H01L 21/301

FI (2)：

G02B 7/11 H , H01L 21/78 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

顕微鏡等の試料観察手段の自動焦点合わせ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-340552 Applicant：富士通株式会社
手術用顕微鏡焦準装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-155134 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
ウェーハのダイシング方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-032466 Applicant：株式会社ディスコ

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