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J-GLOBAL ID：200903030514179869

誘電体バリヤ放電ランプを使った光照射装置。

Inventor：
藤次 英樹

About 藤次 英樹


Applicant, Patent owner：
ウシオ電機株式会社

About ウシオ電機株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000364362
Publication number (International publication number)：2002168999
Application date： Nov. 30, 2000
Publication date： Jun. 14, 2002
Summary：
【要約】【課題】 真空紫外光の光取出し効率が高い誘電体バリア放電ランプを使った光処理装置を提供すること【解決手段】 誘電体バリヤ放電によって真空紫外光を放射する放電用ガスが充填された放電容器の外面に一方の電極(5)が設けられた誘電体バリア放電ランプ(1)と、この誘電体バリア放電ランプ(1)を溝部(14)において支持するとともに当該誘電体バリア放電ランプ(1)を冷却するための金属ブロック(13)と、この金属ブロック(13)を冷却する手段(16)とよりなり,前記誘電体バリア放電ランプ(1)と前記金属ブロック(13)の溝部(14)との間には、両者に接触して挟まれ、かつ、誘電体バリア放電ランプ(1)側の表面が真空紫外光に対する反射特性を有する反射ミラー(20)が着脱可能に配置していることである。なることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
誘電体バリヤ放電によって真空紫外光を放射する放電用ガスが充填された放電容器の外面に一方の電極が設けられた誘電体バリア放電ランプと、この誘電体バリア放電ランプを溝部において支持するとともに当該誘電体バリア放電ランプを冷却するための金属ブロックと、この金属ブロックを冷却する手段とよりなる誘電体バリヤ放電ランプを使った光照射装置において、前記誘電体バリア放電ランプと前記金属ブロックの溝部との間には、両者に接触して挟まれ、かつ、誘電体バリア放電ランプ側の表面は真空紫外光に対する反射特性を有する反射ミラーが着脱可能に配置することを特徴とする誘電体バリヤ放電ランプを使った光照射装置。
IPC (2)：
G21K 5/00 ,  H01J 65/00
FI (2)：
G21K 5/00 Z ,  H01J 65/00 A
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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