光送受信器及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大岩増雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995107239
Publication number (International publication number)：1996304671
Application date： May. 01, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】半導体レーザと導波路との光学的アライメントを容易にする光送受信器を得る。【構成】共通Si基板10上に、半導体レーザ2、フォトダイオード、誘電体合分波器7を形成するに当たり、SiO2 /TiO2 /SiO2 の3層誘電体膜を形成し、3層誘電体膜及びSi基板10を一定深さまでエッチング除去して、その除去した部分上に半導体レーザ2をボンディングした後、(a)半導体レーザ2上のアライメントマーカ16により位置合わせして、導波路パターン15を転写し、(b)エッチングにより誘電体合分波器7を形成する。【効果】半導体レーザを基準にして、導波路の形成位置を決めるため、容易に精度よく形成できる。

Claim (excerpt)：

信号光を伝送する導波路が形成された基板、この基板上に上記導波路と整列するように取付けられ、信号光を出射する半導体レーザ、上記基板上に上記導波路と整列するように取付けられ、信号光が入射されるフォトダイオードを備えたことを特徴とする光送受信器。

IPC (5)：

G02B 6/42 , G02B 6/122 , G02B 6/13 , H01L 31/0232 , H01S 3/18

FI (6)：

G02B 6/42 , H01S 3/18 , G02B 6/12 B , G02B 6/12 M , H01L 31/02 D , H01L 31/02 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

光合分波モジュール
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-073675 Applicant：株式会社日立製作所
光集積回路
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-095455 Applicant：富士通株式会社
半導体装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-260487 Applicant：株式会社東芝

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