塵埃濃度管理システムおよび塵埃濃度管理方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：京本直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993139736
Publication number (International publication number)：1994347396
Application date： Jun. 11, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】クリーンルームの塵埃濃度管理において、最も塵埃管理を必要とする製品周囲の塵埃汚染を最少限に止め、塵埃異常の要因分析にも活用できるようにする。【構成】クリーンルーム1内のエアー中における塵埃濃度を測定する塵埃濃度測定センサー4およびこの塵埃濃度測定センサー4により測定された塵埃濃度データを発信する発信機5を含んで構成されたセンサーユニット3を、製品キャリア2’と実質的に同形のケーシング3’に収納し、製品キャリア2’と共に運搬、保管を行なう。発信機5から発信された塵埃濃度データを監視ユニット9の受信機10で受信し、そのデータを塵埃濃度記憶部11で記憶し、塵埃濃度表示用モニター部12で表示し、また塵埃濃度が異常の場合は警報部14から警報を出力する。

Claim (excerpt)：

製品もしくは製造工程中の中間製品を収納した製品キャリアの運搬、保管手段を備えたクリーンルームの塵埃濃度管理システムにおいて、前記クリーンルーム内の空気中における塵埃濃度を測定する塵埃濃度測定センサーおよび前記塵埃濃度測定センサーにより測定された塵埃濃度データを発信する発信機を含んで構成され、前記製品キャリアと同様に取扱えるケーシングに納められたセンサーユニットと、前記発信機から発信された塵埃濃度データを受信する受信機、受信された塵埃濃度データを記憶する記憶部、受信された塵埃濃度データを出力表示する表示用モニター部および受信された塵埃濃度データにより異常を報知する警報部を含んで構成された監視ユニットとを備えていることを特徴とする塵埃濃度管理システム。

IPC (3)：

G01N 15/06 , F24F 7/06 , H01L 21/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

クリーンルームの清浄度測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-111832 Applicant：川崎製鉄株式会社

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