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J-GLOBAL ID:200903031011167770

炭素でド-ピングした接触層を含む光学装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 岡部 正夫 (外11名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999165298
Publication number (International publication number):2000031580
Application date: Jun. 11, 1999
Publication date: Jan. 28, 2000
Summary:
【要約】【課題】 本発明は、被覆領域(15)および導波領域(14)内でのZnの問題を緩和する光学装置およびその製造方法である。【解決手段】 接触領域(16)は、二つの成分からなる材料でpタイプのドーピング剤としての働きをする炭素を含む。
Claim (excerpt):
光学装置(10)であって、導波領域、導波領域と低い抵抗で接触するように、十分な電気伝導度を達成するために、炭素からなるpタイプのドーピング剤を含む接触領域上に形成された、InGaAsおよびInGaAsPから選択した半導体接触領域(16)を特徴とする半導体導波領域(14)と、前記導波領域に隣接して形成された、Znからなるドーピング剤を含む被覆領域(15)を備える装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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