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J-GLOBAL ID：200903031083037898

耐振動型干渉計

Inventor： 本田 捷夫 ,  岡田 勝行
Applicant, Patent owner： 本田 捷夫 ,  岡田 勝行 ,  富士写真光機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994246308
Publication number (International publication number)：1996110204
Application date： Oct. 12, 1994
Publication date： Apr. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 耐振動型干渉計において、撮像手段によって得られた干渉縞画像を解析し、その解析結果に基づき参照光と物体光の光路差を所定の値に維持することにより、光学系の構成を簡単なものとし、その調整を容易なものとし、さらに製造コストやメンテナンスコストも安価なものとする。【構成】 フィゾー型の干渉計と、干渉縞を観察するためのCCDカメラ14と、CCDカメラ14により得られた干渉縞画像情報を解析して被検面の表面形状、振動量あるいは傾き量を算出するコンピュータ19と、この算出結果に基づき上記PZT15a,15bに所定の駆動信号を送出するPZT駆動回路20を備えている。

Claim (excerpt)：

可干渉光を基準板上の基準面と被検体上の被検面に照射し、該基準面からの参照光と該被検面からの物体光とによる干渉縞を形成する干渉縞形成手段と、該干渉縞形成手段により形成された干渉縞を撮像する撮像手段と、該撮像手段から出力される干渉縞画像情報に基づき前記被検面の振動量を算出する振動量算出手段と、前記干渉縞形成手段の光路中のいずれかの部材に所定の振動を付与する振動付与手段と、前記振動量算出手段により算出された振動量に基づき、この振動量を打ち消して前記参照光と前記物体光との光路差が所定の値となるように前記振動付与手段を駆動する駆動手段とを備えてなることを特徴とする耐振動型干渉計。

IPC (3)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 102

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 計測装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-202399   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開平4-166703