膜形成用組成物、膜の製造方法および多孔質膜

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998289476
Publication number (International publication number)：2000119600
Application date： Oct. 12, 1998
Publication date： Apr. 25, 2000
Summary：

【要約】【目的】膜形成用組成物、さらに詳しくは、密着性、塗膜の均一性等に優れた、低誘電率膜形成用組成物、該組成物を硬化して得られる多孔質膜を得る。【構成】 (A)下記一般式(1)で表される化合物の加水分解物およびその部分縮合物またはいずれか一方R1nSi(OR2)4-n (1)(R1 およびR2 は、同一でも異なっていても良く、それぞれ1価の有機基を示し、nは0〜2の整数を表す。)(B)前記(A)成分に相溶または分散し、沸点または分解温度が250〜450°Cである化合物(C)沸点250°C未満のエステル系有機溶媒を含むことを特徴とする膜形成用組成物。

Claim (excerpt)：

(A)下記一般式(1)で表される化合物の加水分解物およびその部分縮合物またはいずれか一方R1nSi(OR2)4-n (1)(R1 およびR2 は、同一でも異なっていても良く、それぞれ1価の有機基を示し、nは0〜2の整数を表す。)(B)前記(A)成分に相溶または分散し、沸点または分解温度が250〜450°Cである化合物(C)沸点250°C未満のエステル系有機溶媒を含むことを特徴とする膜形成用組成物。

IPC (6)：

C09D201/00 , C09D165/00 , C09D179/08 , C09D183/06 , H01L 21/312 , H01L 21/316

FI (6)：

C09D201/00 , C09D165/00 , C09D179/08 , C09D183/06 , H01L 21/312 A , H01L 21/316 H

F-Term (30)：

4J038BA012 , 4J038BA042 , 4J038BA052 , 4J038BA122 , 4J038BA162 , 4J038CC032 , 4J038CG172 , 4J038CK022 , 4J038CK032 , 4J038CR072 , 4J038DF022 , 4J038DF062 , 4J038DJ022 , 4J038DL021 , 4J038DL051 , 4J038JA19 , 4J038JA22 , 4J038JA61 , 4J038JC38 , 4J038KA09 , 4J038MA07 , 4J038NA12 , 4J038NA17 , 4J038NA21 , 4J038PA19 , 5F058AA08 , 5F058AB10 , 5F058AC02 , 5F058AF04 , 5F058AH02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平3-020377
熱硬化性樹脂組成物およびその硬化物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-336576 Applicant：ジェイエスアール株式会社
発泡ポリマーの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-086236 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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