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J-GLOBAL ID：200903031318541980

光走査装置

Inventor： 坂田 稔 ,  池田 正哲 ,  若林 秀一
Applicant, Patent owner： オムロン株式会社
Agent (1)： 牛久 健司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995123043
Publication number (International publication number)：1996327927
Application date： Apr. 25, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 共振周波数を低下させることなく光の走査角度を大きくできる光走査装置を提供する。【構成】 スキャナ箱状体2は,光を反射させるミラー部25と,方形状のフレーム部24と,ミラー部25とフレーム部26を連結する少なくとも1つの共振振動モードを有する弾性変形部26とが形成されたスキャナ基板20および,このスキャナ基板20を挟んで接合された2枚の保護基板30,40から構成される。フレーム部26と保護基板30,40とが形成する内部空間が封止かつ減圧されている。圧電アクチュエータ3を駆動し,弾性変形部26を外部から共振振動させることによって,ミラー部25は密閉空間内において振動し,ミラー部25で反射した光は一次元または二次元的に走査される。

Claim (excerpt)：

内部に密閉された空間を有する箱状体を備え,上記箱状体の内部に,光を反射させるミラー部が,上記箱状体に取付けられた少なくとも一つの共振振動モードを有する弾性変形部によって変位自在に支持されており,上記箱状体の内部が減圧されている光走査装置。

IPC (3)：

G02B 26/10 101 ,  H01L 41/09 ,  G01B 11/24

FI (3)：

G02B 26/10 101 ,  G01B 11/24 C ,  H01L 41/08 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 光スキャナー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-239665   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開平4-211218