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J-GLOBAL ID：200903031350982602

多連型プロセス装置の制御システム

Inventor：
竹田 智彦

About 竹田 智彦


Applicant, Patent owner：
国際電気株式会社

About 国際電気株式会社


Agent (1)： 守山 辰雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994270569
Publication number (International publication number)：1996110805
Application date： Oct. 07, 1994
Publication date： Apr. 30, 1996
Summary：
【要約】【目的】 制御システムを機能分散させて階層化することにより、多連型プロセス装置のモジュールの増減に対する自由度を大幅に向上させる。【構成】 処理機能別にユニット化されたプロセスモジュールとプロセスモジュール間の搬送を行う搬送モジュールとを連設してなる多連型プロセス装置の制御システムにおいて、多連型プロセス装置を統括して制御するメインコントローラ12と各モジュールS1、T1、L1、T2、H、T3、R1、T4、R2、T5、R3、T6、L2、T7、S2との間に、個々のモジュールを直接的に制御するユニットコントローラ24と、メインコントローラ12からの命令に基づいて1つ以上のユニットコントローラ24を制御するローカルコントローラ23とを介装し、メインコントローラからの命令に基づいて、これら下位コントローラにより各モジュールを制御する。
Claim (excerpt)：
処理機能別にユニット化されたプロセスモジュールとプロセスモジュール間の搬送を行う搬送モジュールとを連設してなる多連型プロセス装置の制御システムにおいて、当該多連型プロセス装置を統括して制御するメインコントローラと前記各モジュールとの間に下位コントローラを介装し、メインコントローラからの命令に基づいて該下位コントローラにより各モジュールを制御することを特徴とする多連型プロセス装置の制御システム。
IPC (4)：
G05B 19/05 ,  B23Q 41/00 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/68
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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