回折格子および光導体の製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石田敬 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995320311
Publication number (International publication number)：1996220317
Application date： Dec. 08, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：

【要約】【課題】高屈折率の誘電体皮膜と基板系に結合及び解離格子を製造する安価で大量生産に適した方法を提供する。【解決手段】基板上の高屈折率の誘電皮膜に光を結合及び解離するための回折格子構造を製造する方法において、高屈折率の誘電皮膜及び/又は基板に、同時空間的に周期的に強度変調した紫外レーザー光を照射し、しかも強度変調の周期を所望の格子周期に対応して選択する。好ましくは、前記強度変調を少なくとも互いに干渉する2つの紫外レーザー光か、好ましくはマスク構造によって行い、前記紫外レーザー光を1つ以上のエキシマーレーザーによって形成し、紫外レーザー光を所定時間内に、好ましくは1μs以下パルス時間で1回以上発振し、高屈折率の皮膜及び/又は少なくとも基板の表面区域の屈折率をレーザー光によって空間的に変調する。

Claim (excerpt)：

基板上の高屈折率の誘電体皮膜に光を結合/解離するための回折格子構造を製造する方法において、高屈折率の誘電体皮膜及び/又は基板に、同時空間的に周期的に強度変調した紫外レーザー光を照射し、しかも強度変調の周期を所望の格子周期に対応して選択することを特徴とする方法。

IPC (3)：

G02B 5/18 , B23K 26/00 , B23K 26/06

FI (5)：

G02B 5/18 , B23K 26/00 E , B23K 26/00 N , B23K 26/06 E , B23K 26/06 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

光導波路素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-006393 Applicant：富士写真フイルム株式会社
ポリマーストライプ形導波路の製造方法及び導波路層のパターン化方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-101880 Applicant：イーストマンコダックカンパニー
光学素子を含む物品及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-103350 Applicant：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー

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