Pat
J-GLOBAL ID：200903031425268480
洩れ検査装置の校正方法、洩れ検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
草野 卓
, 稲垣 稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003182206
Publication number (International publication number)：2005017107
Application date： Jun. 26, 2003
Publication date： Jan. 20, 2005
Summary：
【課題】洩れ検査装置のドリフト補正をドリフト特性曲線から求め、常に正しいドリフト補正を施す。【解決手段】被検査体と基準タンクとの間に発生する差圧値を第1測定値D1として取得した後、所定時間より長い時間経過した時点から所定時間が経過する間に発生する差圧の変化分を第2測定値ΔD3として取得し、基準環境温度と異なる温度に設定された被検査体と基準環境温度にほぼ等しい温度に維持されたシール治具を使って第1測定値と第2測定値を取得することを被検査体の温度を変更して複数の温度差毎に実行し、各温度差対第1測定値D1の第1特性曲線X1と、各温度差対第2測定値ΔD3の第2特性曲線X2を記録し、第1特性曲線X1と、第2特性曲線X2の差から第1特性曲線X1に含まれるドリフト値の温度特性を求め、検査モードでこのドリフト値の温度特性を利用してドリフト補正値を求める。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
被検査体と基準タンクとの双方に同一の空気圧を封入し、封入後から所定の時間が経過する間に上記被検査体と基準タンクとの間に差圧が発生するか否かを計測して上記被検査体に洩れが有るか否かを判定する洩れ検査装置の校正方法において、
校正モードで洩れのない乾燥された被検査体の開口部を基準環境温度に等しい温度のシール治具で閉塞し、この閉塞状態で被検査体と基準タンクに空気圧を封入し、空気圧の封入後の所定時間が経過する間に上記被検査体と基準タンクとの間に発生する差圧値を第1測定値D1として取得し、第1測定値D1を取得した後、上記所定時間より長い時間経過した時点から上記所定時間にほぼ等しい時間が経過する間に被検査体と基準タンクとの間に発生する差圧変化値を第2測定値ΔD3として取得するドリフト値取得方法において、上記基準環境温度と異なる温度に設定された被検査体と上記基準環境温度にほぼ等しい温度に維持されたシール治具を使って上記第1測定値と第2測定値を取得することを上記被検査体の温度を変更して複数の温度差毎に実行し、各温度差対第1測定値D1の第1特性曲線X1と、各温度差対第2測定値ΔD3の第2特性曲線X2を記録させ、これら第1特性曲線X1と、第2特性曲線X2の差から上記第1特性曲線X1に含まれる空気圧印加直後に発生する空気の断熱変化によって発生するドリフト値の温度特性を求め、
検査モードでこのドリフト値の温度特性を利用して上記環境温度以外の任意の環境温度におけるドリフト補正値を求めることを特徴とする洩れ検査装置の校正方法。
IPC (1)：
FI (2)：
F-Term (8)：
2G067AA27
, 2G067AA34
, 2G067BB02
, 2G067BB04
, 2G067BB28
, 2G067CC04
, 2G067DD03
, 2G067EE10
