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J-GLOBAL ID：200903031482762849

垂直方向に集積した電子回路およびウェハ・スケール密封包装を含むX-Y軸二重質量音叉ジャイロスコープ

Inventor： ナシリ、スティーブン エス. ,  シーガー、ジョセフ
Applicant, Patent owner： インベンセンス インコーポレイテッド
Agent (2)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2006536699
Publication number (International publication number)：2007509346
Application date： Oct. 12, 2004
Publication date： Apr. 12, 2007
Summary：

X-Y面内に横方向に配置され、フレーム(34)に間接的に連結されている2つの質量(22,24)を有する角速度センサ。2つの質量(22,24)は、これらの質量が、Z方向に沿って必ず反対方向に移動するように、リンク装置(28,56,58)により連結されている。Y軸を中心にするセンサの角速度は、2つの質量(22,24)をZ方向に反対位相で振動させ、それによりフレーム(34)に加わる角振動の振幅を測定することにより感知することができる。好ましい実施形態では、角速度センサは、バルクMEMSジャイロスコープ・ウェハ(20)、キャップ・ウェハ(42)および基準ウェハ(44)から製造される。他の好ましい実施形態では、ウェハのこのアセンブリは、質量(22,24)と周囲環境との間に密封バリアを形成する。

Claim (excerpt)：

センサ面の角速度を測定するためのセンサであって、前記センサが、 a)感知サブアセンブリであって、 i)前記面に平行なほぼ平らなフレームと、 ii)前記面内に配置されている第1の質量と、 iii)前記第1の質量に対して横向きに前記面内に配置されている第2の質量と、 iv)前記フレーム内に位置し、前記フレームに連結されているリンク装置であって、前記リンク装置は、前記第1の質量および前記第2の質量に連結され、前記リンク装置は、前記第1および第2の質量が、前記面に垂直に反対方向に移動するのを制限するリンク装置とを備える感知サブアセンブリと、 b)前記サブアセンブリの第1の部分を駆動周波数で振動させるためのアクチュエータと、 c)前記角速度により前記サブアセンブリの第2の部分の運動を感知するためのトランスジューサとを備えるセンサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2)：

G01C19/56 ,  G01P9/04

F-Term (10)：

2F105BB03 ,  2F105BB13 ,  2F105CC04 ,  2F105CC11 ,  2F105CD01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD06 ,  2F105CD07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 米国特許第6,481,283号明細書
  
• 米国特許第6,508,122号明細書
  

Cited by examiner (2)

• 角速度検出素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-340719   Applicant：株式会社村田製作所
• 角速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-187844   Applicant：株式会社トーキン