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J-GLOBAL ID：200903031737462437
試料検出装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
坂間 暁 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995109593
Publication number (International publication number)：1996304259
Application date： May. 08, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：
【要約】【目的】 微粒子からなる試料の位置及び粒径を計測する試料検出装置に関し、光学系に依存せずレーザービームを走査することにより高精度の測定を可能とする。【構成】 レーザ光源1からのビーム光Aはレンズ3を介し、ガルバノミラー2に入る。コンピュータ9は定電流電源4を制御し、検出槽7内の試料面6を走査する。試料面6の試料からの散乱光はCCDラインセンサ8で検出され、コンピュータ9に入り、走査面の各位置における散乱光強度より散乱光強度分布を求める。同時に散乱光強度の散乱角度依存性は粒径の大きさにより異なる性質があるので、この関係より粒子の径を算出する。従って光学系の精度に依存せず、レーザービームの走査位置精度のみに依存して高精度な測定が可能となる。
Claim (excerpt)：
レーザー光源から発するレーザービームを走査しながら液中あるいは空気中に存在する微粒子等からなる試料粒子に入射する光源部と;同光源部からのレーザービームの前記試料粒子からの散乱光を直接検出する検出部と;同検出部からの検出信号を取込み、前記レーザービームの各走査位置での前記散乱光の強度を求めることにより前記試料粒子の空間的な分布を検出すると共に、粒子径と散乱光強度の角度依存性の関係より前記試料粒子の粒径を算出する演算部とを具備してなることを特徴とする試料検出装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 15/02 A
, G01N 15/14 P
