基板搬送装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大森聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992324023
Publication number (International publication number)：1994176995
Application date： Dec. 03, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】裏面に異物が存在するウエハをウエハホルダー上に載置した場合に、そのウエハの平面度が悪化しないようにする。【構成】スキャナー16により、レーザービームLB1でウエハ10の裏面をX方向に走査し、駆動部11でウエハ10を移動させることにより、そのレーザービームでウエハ10の裏面をY方向に走査する。ウエハ10の裏面からの散乱光を光電変換素子23で受光してウエハ10の裏面の異物の位置を検出する。ウエハ10の裏面上の異物がウエハホルダー2上の凸部の対3〜6上に重ならないように、ウエハ10をウエハホルダー2上に載置する。

Claim (excerpt)：

支持対象物に接触する凸部が形成されたテーブル上に基板を搬送する装置において、前記基板を前記テーブルに対して所定の位置関係で保持する基板保持手段と、前記基板の前記テーブルとの接触面上の異物の分布状態を検出する異物検出手段と、前記基板の前記テーブルとの接触面上の異物が前記テーブル上の凸部と干渉しないように、前記基板保持手段と前記テーブルとの位置関係を修正する位置調整手段と、該位置調整手段により設定された位置関係で前記基板を前記テーブル上に載置する基板載置手段とを有する事を特徴とする基板搬送装置。

IPC (5)：

H01L 21/027 , G01B 11/30 , G01N 21/84 , G01N 21/88 , H01L 21/68

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平4-098816
特開平2-184017
特開平4-098816

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