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J-GLOBAL ID：200903031934353755
液晶表示素子の配向評価装置および液晶表示素子の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松田 正道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992281894
Publication number (International publication number)：1994130388
Application date： Oct. 20, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：
【要約】【目的】 ラビング処理における製造工程歩留まりを向上すること。【構成】 透明電極基板1の配向膜の配向処理を行なう配向処理手段5と、配向膜の複屈折位相差を計測する複屈折位相差計測手段3、4と、複屈折位相差の計測結果に基づき配向処理手段5を制御する配向処理制御手段7とを備える。その複屈折位相差計測は、光周波数f1の直線偏光レ-ザ光と光周波数f2の直線偏光レ-ザ光とを発生し、その差周波交流信号を発生し、被測定物を透過したレ-ザ光を分離し、分離された一方の光の、xy軸から45度方向の光の信号aと、x軸y軸方向の光の信号bと前記差周波交流信号fとのそれぞれの積q、sを得、この出力に基づき複屈折量dと遅相軸方向を演算して配向膜のラビング処理前後の複屈折位相差の差を算出する。
Claim (excerpt)：
液晶表示素子用の透明電極上に形成された配向膜に対して、少なくとも配向処理後の配向膜の複屈折位相差を計測する複屈折位相差計測手段を備え、前記複屈折位相差計測手段が、光周波数f1でx軸方向に光電場が向きz軸方向に伝播する第1の直線偏光レ-ザ光と光周波数f2でy軸方向に光電場が向きz軸方向に伝播する第2の直線偏光レ-ザ光とを発生する光源と、差周波数f=f1-f2の差周波交流信号fを発生する差周波発生手段と、被測定物を透過したレ-ザ光を偏光方向によらずほぼ一定の比率で分離する光分離手段と、これにより分離された一方の光を、xy軸から実質上45度方向の光を透過する検光子を通して光検出器で受光し検出した信号aと前記差周波交流信号fとの積q及び、前記光分離手段により分離された他方の光を、実質上x軸またはy軸方向の光を透過する検光子を通して光検出器で受光し検出した信号bと前記差周波交流信号fとの積sを得る乗算器と、この乗算器の出力に基づいて前記被測定物の複屈折量dと遅相軸(または進相軸)方向を演算する第1の演算手段と、配向膜のラビング処理前後の複屈折位相差の差(ラビング処理により配向膜のみに生じた複屈折位相差)を、前記第1の演算手段により得られた複屈折量dと遅相軸(または進相軸)方向に基づき算出する第2の演算手段とを有することを特徴とする液晶表示素子の配向評価装置。
Patent cited by the Patent：
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