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J-GLOBAL ID:200903031994069185

撥液膜の形成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石田 敬 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996320063
Publication number (International publication number):1998157013
Application date: Nov. 29, 1996
Publication date: Jun. 16, 1998
Summary:
【要約】【課題】 膜厚がより厚くかつこの膜厚が均一な撥液膜の形成方法を提供する。【解決手段】 金属アルコキシドと、アルコキシル基の一部がフルオロアルキル基により置換されているフルオロアルキル基置換アルコキシドとを含む被覆溶液を基材に塗布し、次いで焼成することからなる撥液膜の形成方法において、前記被覆溶液を基材に塗布する前に前記フルオロアルキル基置換アルコキシドの重合を促進させておく。
Claim (excerpt):
金属アルコキシドと、アルコキシル基の一部がフルオロアルキル基により置換されているフルオロアルキル基置換アルコキシドとを含む被覆溶液を基材に塗布し、次いで焼成することからなる撥液膜の形成方法であって、前記被覆溶液を基材に塗布する前に前記フルオロアルキル基置換アルコキシドの重合を促進させておくことを特徴とする方法。
IPC (3):
B32B 18/00 ,  C23C 18/12 ,  C23C 22/74
FI (3):
B32B 18/00 ,  C23C 18/12 ,  C23C 22/74
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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