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J-GLOBAL ID：200903032011257954

酸化物焼結体、ターゲット、及びそれを用いて得られる酸化物透明導電膜ならびにその製造方法

Inventor：
阿部 能之

About 阿部 能之

, 
中山 徳行

About 中山 徳行


Applicant, Patent owner：
住友金属鉱山株式会社

About 住友金属鉱山株式会社


Agent (1)： 河備 健二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006144001
Publication number (International publication number)：2007314364
Application date： May. 24, 2006
Publication date： Dec. 06, 2007
Summary：
【課題】実質的にスズ、亜鉛、および酸素からなる酸化物焼結体、高い直流電力を投入してもクラックが発生しないスパッタリング或いはイオンプレーティング用ターゲット、及び耐薬品性に優れ非晶質構造の酸化物透明導電膜、それを高速で生産性よく成膜しうる製造方法を提供。【解決手段】実質的にスズ、亜鉛、および酸素からなる酸化物焼結体であって、亜鉛がZn/(Zn+Sn)の原子数比として0.05〜0.48含有され、かつ、主としてスズ酸亜鉛化合物相と酸化スズ相とから構成されることを特徴とする酸化物焼結体;これら酸化物焼結体を加工して得られるターゲット;このターゲットを用いて、スパッタリング法あるいはイオンプレーティング法で基板上に形成される透明導電膜などにより提供。【選択図】なし
Claim (excerpt)：
実質的にスズ、亜鉛、および酸素からなる酸化物焼結体であって、亜鉛がZn/(Zn+Sn)の原子数比として0.05〜0.48含有され、かつ、主としてスズ酸亜鉛化合物相と酸化スズ相とから構成されることを特徴とする酸化物焼結体。
IPC (4)：
C04B 35/457 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 ,  C23C 14/34
FI (4)：
C04B35/00 R ,  H01B5/14 A ,  H01B13/00 503B ,  C23C14/34 A
F-Term (38)：
4G030AA32 ,  4G030AA39 ,  4G030BA01 ,  4G030BA02 ,  4G030BA14 ,  4G030BA15 ,  4G030CA01 ,  4G030CA04 ,  4G030CA07 ,  4G030CA08 ,  4G030GA03 ,  4G030GA04 ,  4G030GA05 ,  4G030GA09 ,  4G030GA11 ,  4G030GA19 ,  4G030GA25 ,  4G030GA27 ,  4G030GA29 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA43 ,  4K029BA50 ,  4K029BB10 ,  4K029BC09 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC34 ,  4K029DC39 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC10 ,  5G323BA02 ,  5G323BB05 ,  5G323BB06
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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