Pat
J-GLOBAL ID:200903062121949017
透明導電材料、透明導電ガラス及び透明導電フィルム
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
東平 正道
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999058383
Publication number (International publication number):2000256059
Application date: Mar. 05, 1999
Publication date: Sep. 19, 2000
Summary:
【要約】【課題】 安価に製造することができ、かつ導電性および透明性にすぐれるとともに、製膜したとき透明導電膜のエッチング加工性に優れた透明導電材料と、その製膜に用いるスパッタリング用ターゲット、その透明導電膜を有する透明導電ガラスおよび透明導電フィルムを提供すること。【解決手段】酸化錫、酸化インジウムおよび酸化亜鉛がそれらの金属原子比でSn/(Sn+In+Zn)=0.500〜0.950In/(Sn+In+Zn)=0.025〜0.475Zn/(Sn+In+Zn)=0.025〜0.225の組成を有し、かつIn2 O3 (ZnO)m 〔式中のmは2〜20の整数を示す〕で表される六方晶層状化合物を含有する組成物からなる透明導電材料、該材料からなるスパッタリング用ターゲット、およびその透明導電膜を有する透明導電ガラスおよび透明導電フィルム。
Claim (excerpt):
酸化錫、酸化インジウムおよび酸化亜鉛が、それらの金属原子比において、Sn/(Sn+In+Zn)=0.500〜0.950In/(Sn+In+Zn)=0.025〜0.475Zn/(Sn+In+Zn)=0.025〜0.225の組成を有し、かつIn2 O3 (ZnO)m 〔ただし、mは2〜20の整数である〕で表される六方晶層状化合物を含有する組成物からなる透明導電材料。
IPC (6):
C04B 35/457
, C01G 19/00
, C23C 14/08
, C23C 14/34
, H01B 1/08
, H01B 5/14
FI (6):
C04B 35/00 R
, C01G 19/00
, C23C 14/08 D
, C23C 14/34 A
, H01B 1/08
, H01B 5/14 A
F-Term (32):
4G030AA32
, 4G030AA34
, 4G030AA39
, 4G030BA02
, 4G030BA15
, 4G030CA01
, 4G030GA22
, 4G030GA27
, 4K029AA09
, 4K029AA11
, 4K029AA24
, 4K029AA25
, 4K029BA45
, 4K029BA47
, 4K029BA49
, 4K029BA50
, 4K029BC09
, 4K029BD01
, 4K029CA05
, 4K029DC05
, 5G301CA02
, 5G301CA15
, 5G301CA22
, 5G301CA27
, 5G301CD03
, 5G301CE02
, 5G307FA01
, 5G307FA02
, 5G307FB01
, 5G307FC03
, 5G307FC09
, 5G307FC10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
-
透明導電膜
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-094473
Applicant:グンゼ株式会社
-
透明導電膜の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-079645
Applicant:グンゼ株式会社
-
導電性材料およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-271368
Applicant:出光興産株式会社
Return to Previous Page