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J-GLOBAL ID：200903032020914500

ポジ型感光性組成物

Inventor：
藤森 亨

About 藤森 亨

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丹 史郎

About 丹 史郎

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漢那 慎一

About 漢那 慎一

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児玉 邦彦

About 児玉 邦彦


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (1)： 萩野 平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999243346
Publication number (International publication number)：2001066779
Application date： Aug. 30, 1999
Publication date： Mar. 16, 2001
Summary：
【要約】【課題】現像欠陥やラインエッジラフネスが良好なポジ型感光性組成物を得る。【解決手段】(a)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する般式(I)〜(III)の化合物の少なくとも一種(但し、R1〜R15の少なくとも1つ、R16〜R27の少なくとも1つ及びR28〜R37の少なくとも1つがヒドロキシ基又はアルコキシ基)、(b)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する樹脂及び(c)塩基性含窒素化合物を含有するするボジ型感光性組成物。【化1】
Claim (excerpt)：
(a)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する下記一般式(I)〜(III)で表される化合物の少なくとも一種、(b)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する樹脂、及び(c)塩基性含窒素化合物、を含有することを特徴とするボジ型感光性組成物。【化1】(式中、R1 〜R37は水素原子、直鎖、分岐、環状アルキル基、直鎖、分岐、環状アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、または-S-R38基を表す。R38は直鎖、分岐、環状アルキル基またはアリール基を表す。但し、R1〜R15のうちの少なくとも1つ、R16〜R27のうちの少なくとも1つ及びR28〜R37のうちの少なくとも1つがヒドロキシ基又はアルコキシ基である。X-は分岐または環状の炭素数8個以上のアルキル基およびアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも1個有するか、直鎖、分岐または環状の炭素数4〜7のアルキル基およびアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも2個有するか、若しくは直鎖、分岐または環状の炭素数1〜3のアルキル基およびアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも3個有するベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸またはアントラセンスルホン酸のアニオンを表す。あるいはエステル基、R39-CO-基、R40-CONH-基、R41-NH-基、R42-OCONH-基、R43-NHCOO-基、R44-NHCONH-基、R45-NHCSN-基、R46-SO2NH-基およびニトロ基の群の中から選ばれる基を少なくとも1個有するベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸またアンアトラセンスルホン酸のアニオンを表す。R39〜R46は直鎖、分岐もしくは環状アルキル基またはアリール基を表す。)
IPC (5)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027
FI (5)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (21)：
2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB17 ,  2H025CB45 ,  2H025CB52 ,  2H025CB55 ,  2H025CC01 ,  2H025FA17 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096BA09 ,  2H096BA11 ,  2H096EA05 ,  2H096GA08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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