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J-GLOBAL ID：200903091242601212

ポジ型感光性組成物

Inventor：
児玉 邦彦

About 児玉 邦彦


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (1)： 萩野 平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999070372
Publication number (International publication number)：1999327149
Application date： Mar. 16, 1999
Publication date： Nov. 26, 1999
Summary：
【要約】【課題】 感度低下をおこすことなく露光後加熱処理までの経時でレジストパターンの細りが生じたり、レジストパターンの表面形状がT型を呈することのないポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】 特定の多環構造を有する塩基性含窒素化合物、活性光線の照射により酸を発生する特定の化合物、及び酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する樹脂を含有するボジ型感光性組成物。
Claim (excerpt)：
(a)下記一般式(I)で表される多環構造を有する塩基性含窒素化合物、(b)活性光線の照射により酸を発生する下記一般式(II)〜(IV)で表される化合物の少なくとも一種、及び(c)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する樹脂を含有することを特徴とするボジ型感光性組成物。【化1】(式(I)中、Y,Zは、同一でも異なってもよく、ヘテロ原子を含んでいてもよく、置換してもよい直鎖、分岐、環状アルキレン基を表す。)【化2】(式中、R1 〜R37は水素原子、直鎖、分岐、環状アルキル基、直鎖、分岐、環状アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、または-S-R38基を表す。R38は直鎖、分岐、環状アルキル基またはアリール基を表す。X- は分岐または環状の炭素数8個以上のアルキル基およびアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも1個有するか、直鎖、分岐または環状の炭素数4〜7のアルキル基およびアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも2個有するか、若しくは直鎖、分岐または環状の炭素数1〜3のアルキル基およびアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも3個有するベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸またはアントラセンスルホン酸のアニオンを表す。あるいはエステル基、R39-CO-基、R40-CONH-基、R41-NH-基、R42-OCONH-基、R43-NHCOO-基、R44-NHCONH-基、R45-NHCSN-基、R46-SO2NH-基、およびニトロ基の群の中から選ばれる基を少なくとも1個有するベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸またアンアトラセンスルホン酸のアニオンを表す。R39〜R46は直鎖、分岐、環状アルキル基またはアリール基を表す。)
IPC (4)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027
FI (4)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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