プローブユニットおよびその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：志賀正武 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001092645
Publication number (International publication number)：2002286758
Application date： Mar. 28, 2001
Publication date： Oct. 03, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】高集積化電子部品の導通特性を効率的に検査でき、検査時に配線や端子を傷めることなく、プローブの突起が製作時や検査時に脱落せず、平行な配線の検査に適し、若干のプローブの位置ずれにも対応可能なプローブおよびその製造方法を提供する。【解決手段】基板の表面上に規則的に並列配置された複数の金属リードを有するプローブユニットにおいて、金属リード2の一端が前記表面から離されて、または基板端部から突出して弾性接片3とされ、弾性接片3の厚みが全体にわたってほぼ均一であり、弾性接片の断面形状が、円弧形状に湾曲している、及び/または、弾性接片先端近傍に突起を有していることを特徴とするプローブユニットおよびその製造方法。

Claim (excerpt)：

基板の表面上に規則的に並列配置された複数の金属リードを有するプローブユニットにおいて、金属リードの一端が前記表面から離されて弾性接片とされ、弾性接片の厚みが全体にわたってほぼ均一であり、金属リードの長手方向の縦断面における弾性接片の断面形状が、円弧形状に湾曲していることを特徴とするプローブユニット。

IPC (2)：

G01R 1/073 , H01L 21/66

FI (2)：

G01R 1/073 F , H01L 21/66 B

F-Term (16)：

2G011AA15 , 2G011AA21 , 2G011AB06 , 2G011AB08 , 2G011AC06 , 2G011AC14 , 2G011AE01 , 2G011AE03 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106BA01 , 4M106CA70 , 4M106DD04 , 4M106DD06 , 4M106DD10 , 4M106DD13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

リソグラフ的に画定される超小型電子接触構造体
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平10-549594 Applicant：フォームファクター,インコーポレイテッド

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