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J-GLOBAL ID：200903032070539513

横型ウェーブガイドおよび制限電流を有するVCSEL

Inventor： マイケル・エス・レビー ,  チャン・ロン・シェ ,  ドナルド・イー・アックレイ
Applicant, Patent owner： モトローラ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 本城 雅則 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994040594
Publication number (International publication number)：1994275918
Application date： Feb. 16, 1994
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：

【要約】【目的】 従来のVCSELより効率的な改善されたモ-ドおよび電流閉じ込めを有するVCSELを提供すること。【構成】 本発明によるVCSELは、活性領域の部分と共に基板(12)上に配置される第1ミラ-・スタック(14)と、活性領域(15)と、第2ミラ-・スタック(19)とを含む。その第1,第2ミラ-・スタックは基板表面におけるオフセット領域(13)だけ、包囲する部分からずれている。その結果VCSELの動作領域を閉じ込める横型ウェ-ブガイドを限定する。第2ミラ-・スタックが包囲する部分は、電流制御並びに上部および下部表面上に形成される屈折性金属コンタクトを提供するために除去される。

Claim (excerpt)：

光放出が生じる動作波長を有する縦型空洞表面放出レ-ザであって、前記レ-ザは:第1面内に位置する表面(11)と、前記第1面に平行であって距離を隔てた第2面内に位置する前記表面の実質的に中心付近に配置されたオフセット領域(13)とを有する支持基板(12);前記オフセット領域と、前記オフセット領域を包囲する前記表面の部分とを被覆するように前記基板の前記表面上に配置される第1ミラ-・スタック(14);前記第1ミラ-・スタックに平行で隣接する結合(abutting engagement)を被覆して実質的にそれらと同一の広がりで配置される層(17)を少なくとも含む活性領域(15);前記活性領域に平行で隣接する結合を被覆し、前記オフセット領域のみを実質的に被覆する第2ミラ-・スタック(19);および前記第2ミラ-・スタックと共に広範に整合した横型ウェ-ブガイドを限定するように、前記活性領域および前記第1ミラ-・スタックが包囲する第2部分から、前記基板の前記表面における前記オフセット領域だけずれている前記活性領域および前記第1ミラ-・スタックの第1部分;から構成されることを特徴とする縦型空洞表面放出レ-ザ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 面発光レーザ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-198328   Applicant：日本電信電話株式会社