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J-GLOBAL ID：200903032162949440

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 小林 聡 ,  塩田 英和 ,  伊藤 晴彦
Applicant, Patent owner： クラリアント ジャパン 株式会社
Agent (1)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998317971
Publication number (International publication number)：2000147764
Application date： Nov. 09, 1998
Publication date： May. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】本発明は、良好なパターンを形成することができ、特に基板に対する高い密着性を有し、かつポストベーク後においても剥離液により容易に溶解除去される感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】キノンジアジド-ノボラックタイプのポジ型感放射線性樹脂組成物および化学増幅型ネガ型感放射線性樹脂組成物等のアルカリ可溶性樹脂含有感放射線性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂として、下記一般式(I)で表される化合物と必要に応じフェノール類とを、アルデヒド化合物により重縮合することにより得られるアルカリ可溶性樹脂を用いる。【化】(式中、Rは水酸基または炭素数1〜4のアルキル基を表し、nは0または1〜3の整数を表し、nが2または3のときには、各Rは同一でも異なるものでもよい。)

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂を含有する感放射線性樹脂組成物において、該アルカリ可溶性樹脂が、少なくとも、下記一般式(I)で表される化合物を単量体の一成分とするアルカリ可溶性樹脂を含むものであることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】(式中、Rは水酸基または炭素数1〜4のアルキル基を表し、nは0または1〜3の整数を表し、nが2または3のときには、各Rは同一でも異なるものでもよい。)

IPC (4)：

G03F 7/032 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/038 601 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/032 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/038 601 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (17)：

2H025AA03 ,  2H025AA14 ,  2H025AA16 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE01 ,  2H025CB19 ,  2H025CB28 ,  2H025CB45 ,  2H025CB47 ,  2H025CB52 ,  2H025CC17 ,  2H025FA48

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平3-001143
  
• ポジ型感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-252351   Applicant：富士写真フイルム株式会社