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J-GLOBAL ID：200903032285939253

感光性樹脂組成物

Inventor： 枝松 邦茂 ,  吉田 祐司 ,  橋本 和彦 ,  尾崎 晴喜
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (1)： 久保山 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994215910
Publication number (International publication number)：1995333842
Application date： Sep. 09, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】 解像度、プロファイル、感度、焦点深度及び耐熱性等の諸性能のバランスに優れ、しかもスカムのない感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 一般式(Ia)【化1】(式中、R1 〜R3 は水素、アルキル、シクロアルキル、アリール基等を表わし、mは0〜2である。)等で示される芳香族アルデヒドを含むアルデヒド類と一般式(II)【化2】(式中、R7 〜R9 は水素、シクロアルキル等を表わすが、R7 〜R9 の少なくとも1つはシクロアルキルである。)で示されるフェノール化合物とを、酸触媒の存在下に反応させて得られる低分子量成分を単離せずに、さらにフェノール類及びホルムアルデヒドと縮合させて得られるノボラック樹脂、並びにo-キノンジアジド化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物等。

Claim (excerpt)：

一般式(Ia)【化1】(式中、R1 〜R3 は各々独立して水素原子、炭素数6以下のアルキル基、炭素数6以下のシクロアルキル基、炭素数6以下のアルコキシ基、炭素数6以下のアルケニル基又は炭素数10以下のアリール基を表わし、mは0、1又は2を表わす。)或いは一般式(Ib)【化2】(式中、R4 〜R6 は各々独立して水素原子、炭素数6以下のアルキル基、炭素数6以下のシクロアルキル基、炭素数6以下のアルコキシ基、炭素数6以下のアルケニル基又は炭素数10以下のアリール基を表わし、k’は0以上の整数を表わし、pは2又は3を表わすが、k’+p≦3を満足するものとする。)で示される芳香族アルデヒドを含むアルデヒド類と一般式(II)【化3】(式中、R7 〜R9 は各々独立して水素原子、水酸基、炭素数6以下のアルキル基、炭素数6以下のシクロアルキル基、炭素数6以下のアルコキシ基、炭素数6以下のアルケニル基又は炭素数10以下のアリール基を表わすが、R7 〜R9 の中少なくとも1つは炭素数6以下のシクロアルキル基を表わす。)で示されるフェノール化合物とを酸触媒の存在下に反応させて得られる低分子量成分を含む反応混合物から当該低分子量成分を単離することなく、さらにフェノール類及びホルムアルデヒドと縮合させて得られるノボラック樹脂、並びにo-キノンジアジド化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭64-032256
  
• ポジ型レジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-134863   Applicant：住友化学工業株式会社