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J-GLOBAL ID:200903032330559840
搬送システム及びそれに用いられる保管装置
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
梶 良之
, 須原 誠
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004143982
Publication number (International publication number):2005001886
Application date: May. 13, 2004
Publication date: Jan. 06, 2005
Summary:
【課題】 無駄時間を減少させて、全体の稼働率を向上させる。【解決手段】 FOUP20を搭載して搬送する複数の懸垂型の搬送台車16と、複数のFOUP20を搬送台車16により直接収納可能な簡易保管手段(棚装置6)と、搬送台車16が走行移動可能な閉ループの軌道を形成する工程内軌道12と、工程内軌道12から分岐して簡易保管手段近傍を通過するとともに工程内軌道12に合流する分岐環状軌道13とを備える。【選択図】図1
Claim (excerpt):
複数の搬送物を載置可能な保管手段と、
前記搬送物に処理を施すための処理装置と、
前記保管手段及び/又は前記処理装置に搬入及び/又は搬出される搬送物を搭載して搬送する複数の懸垂型搬送台車と、
前記懸垂型搬送台車が走行移動可能であって、少なくとも1つの前記処理装置近傍を通過するとともに、閉ループの軌道を形成する主走行路と、
前記懸垂型搬送台車が走行移動可能であって、前記主走行路から分岐して、前記主走行路にある処理装置とは異なる、少なくとも1つの前記処理装置近傍と、少なくとも1つの前記保管手段近傍とを通過するとともに、前記主走行路に合流する分岐走行路とを備えていることを特徴とする搬送システム。
IPC (2):
FI (3):
B65G1/00 501C
, B65G1/00 541
, B65G1/14 K
F-Term (12):
3F022CC02
, 3F022EE05
, 3F022FF01
, 3F022FF23
, 3F022JJ11
, 3F022KK12
, 3F022LL12
, 3F022MM02
, 3F022MM08
, 3F022MM13
, 3F022MM15
, 3F022NN31
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
-
半導体ウェハ搬送システム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-171624
Applicant:株式会社日立製作所
Cited by examiner (1)
-
無人搬送車システム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-165376
Applicant:村田機械株式会社
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