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J-GLOBAL ID：200903032602596740

集積型光起電力装置の製造方法

Inventor： 寺川 朗 ,  矢田 茂郎
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 鳥居 洋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000093118
Publication number (International publication number)：2001284613
Application date： Mar. 30, 2000
Publication date： Oct. 12, 2001
Summary：

【要約】【課題】 この発明は、厚膜TCOを用いても容易に分離加工ができる光起電力装置の製造方法の提供する。【解決手段】 この発明は、支持基板1上に、背面電極層2、光起電力層となる半導体層3、及び表面電極層4を順次積層して形成した集積型光起電力装置の製造方法において、前記表面電極層4上に透明保護膜5を所定のパターンに形成した後、前記透明保護膜5をマスクにして表面電極層4をエッチング除去して分離する。

Claim (excerpt)：

支持基板上に、背面電極層、光起電力層となる半導体層、及び表面電極層を順次積層して形成した集積型光起電力装置の製造方法において、前記表面電極層上に透明保護膜を所定のパターンに形成した後、前記透明保護膜をマスクにして表面電極層をエッチング除去して分離することを特徴とする集積型光起電力装置の製造方法。

F-Term (14)：

5F051AA05 ,  5F051BA11 ,  5F051CA15 ,  5F051CB15 ,  5F051CB21 ,  5F051CB27 ,  5F051DA04 ,  5F051DA17 ,  5F051EA15 ,  5F051EA16 ,  5F051EA18 ,  5F051FA02 ,  5F051FA06 ,  5F051HA03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 太陽電池モジュールおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-237836   Applicant：シャープ株式会社
• 特開平1-184960
  
• 薄膜太陽電池の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-026412   Applicant：富士電機株式会社
• 光起電力素子および光起電力素子モジュール
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-322802   Applicant：キヤノン株式会社
• 非晶質シリコン膜及びそれを用いた太陽電池
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-100574   Applicant：三洋電機株式会社
• 特開平2-096381